Siconnex、主力製品の一つをBATCHSPRAY® Fourにリブランド
半導体業界向けバッチスプレー処理技術のグローバルリーダーであるSiconnexは、主力製品の一つをリブランドしました。従来「BATCHSPRAY® Autoload CLEAN」として知られていた装置は、システムの全機能と戦略的ポジショニングに名称を整合させるため「BATCHSPRAY® Four」として販売され、本年11月にミュンヘンで開催されるSEMICON Europa 2025で展示されます。
この変更は、直接的な顧客フィードバックによって推進されました。それによると、以前の名称はツールを単なる洗浄専用と限定的に認識させる要因となっていました。実際には、このシステムは柔軟なポリマー除去や、RCA洗浄およびウェットエッチングプロセスト効率的な代替を含む、幅広い高度な機能を提供しています。
「顧客はCLEANを単なる洗浄ツールと誤解することが多かった」と、Siconnexの共同CEO兼CMOであるファビオ・ヴェルンドル。「4つの独立したチャンバーと幅広い適用範囲を備えた新名称FOURは、その多機能性をより適切に反映している」
BATCHSPRAY® Four – コスト削減と持続可能性の融合
BATCHSPRAY® Fourは、1時間あたり最大500枚のウェーハ処理という高いスループットを実現しながら、薬品とDI水の使用量を最大90%削減。これにより、フットプリント効率は38.3ウェーハ/時間/m²を達成します。
その柔軟性はFEOLとBEOL両方のアプリケーションに対応し、複数のプロセス専用装置の必要性を低減することでファブ運営を簡素化します。
新名称は、コンパクトな設置面積で高スループットとプロセス適応性を実現する鍵となる、4チャンバー構成を強調しています。
Siconnexは、今年11月にミュンヘンで開催されるSEMICON Europa 2025において、BATCHSPRAY® Fourを展示します。