Fraunhofer IZM Berlin、Siconnex BATCHSPRAY^® Acid によりウェーハ洗浄を近代化

ベルリンの Fraunhofer 信頼性・マイクロインテグレーション研究所（Fraunhofer IZM）は、このたび Siconnex BATCHSPRAY^® Acid システムの導入に成功しました。システムのフックアップおよび認定プロセスを完了したことで、同研究所は手作業による湿式洗浄から脱却し、今後はクローズドシステムによる全自動ソリューションへ移行します。
これにより同研究所は、先進パッケージング向け最先端開発センターである APECS パイロットラインにおけるプロセス標準化に向けた重要な一歩を踏み出しました。

オーストリアの装置メーカーであるSiconnex社と研究機関Silicon Austria Labs（SAL）は、覚書（MoU）を締結した。この提携の核心となるのが、欧州のパイロットライン「CHAMP-ION」である。

「初装置搬入（First Tool Move-In）」は、あらゆる新工場のライフサイクルにおいて決定的な節目となるマイルストーンです。工事の騒音が収まり、クリーンルームの扉が開かれると、最初の製造装置がフロアへと運び込まれます。ビシェイ社のイッチェホー工場において、その瞬間がついに公式に到来しました。その幕開けを飾ったのは、Siconnex社製の完全自動化ウェットエッチング装置です。