エッチング

ウェットプロセスによりあらゆる金属のタイプのエッチングを容易に実現します。正確なエッチングを確実に行うには、BATCHSPRAY^®のアプローチをとることが不可欠です。この方法は、アルミニウムおよびその合金（AlCu、AlSi、AlSiCuなど）で特に一般的です。ウェーハ内およびウェーハ間の化学反応の均一性を最適化することにより、ばらつきを3%未満に抑えることができます。

AlSiエッチングを実行すると、合金からのシリコン（Si）粒子がエッチングされたエリアに残ることになります。これらのSi残滓を除去するために、フレックルエッチングが行われます。

バリアー層は、シリコンまたはその下の層をアルミニウムの拡散から保護します。これらは、AlSiエッチングおよびフレックルエッチングのプロセスに続くフォローアップステップとしてエッチングできます。

最後に、フォトレジストはSicOzoneプロセスまたは溶剤ベースの媒体によってストリップされます。