プロセスパフォーマンスを最適化

当社のリテーナーコーム処理システムは、すべてのSiconnex装置と完全に互換性があるように設計されており、お客様のウェーハ処理のニーズに対応する包括的で統合されたソリューションを提供します。

ウェーハ処理では多用途性が鍵であり、当社の装置はまさにそれを実現します。8インチウェーハ50枚を処理する必要がある場合でも、12インチウェーハ25枚を処理する必要がある場合でも、当社の装置は両方のシナリオに完全に適しています。

当社の高度な25枚ウェーハのハンドラー移送を使用すると、バッチ全体が1つのステップで完了するため、効率が大幅に向上します。この革新的な機能により、生産プロセスが合理化され、貴重な時間とリソースが節約されます。

ウェーハ処理の進捗状況を常に把握し続けることは、効率的な運用にとって不可欠です。ハンドラーとウェーハステーションの内蔵されたウェーハ検出により、継続的な追跡と生産ステータスのリアルタイムの洞察を実現できます。

当社の装置に最大のオープニングエリアを組み込んでいることは、優れた結果を達成するための当社の取り組みの証拠です。ウェーハ表面で最適な化学反応を確実に行うことで、各処理ステップでの精度と一貫性を保証します。

バッチ全体で一貫した状態を確保することに関して、当社は考え抜かれたソリューションを提供しています。フロントエンドとリアエンドの両方でバッチを保護ウェーハで挟み込み/シールディングするオプションがあり、すべてのウェーハ処理の均一性が保証されます。

ウェーハの処理効率を高めるために、当社はダーティイン/クリーンアウトプロセス用に特別に設計された専用ハンドラーを提供しています。これらの特殊なハンドラーは、最適な清浄度を確保し、相互汚染を防止し、最高水準のウェーハ完全性を維持します。

お客様固有のプロセス要件を把握するために、当社の装置には左右両方のプロセスチャンバーに専用ハンドラーが含まれています。このカスタマイズされたアプローチにより、ワークフローの柔軟性が最大化され、既存のセットアップへのシームレスな統合が可能になり、生産性と利便性が向上します。