Siconnex benennt eines seiner Kernprodukte in BATCHSPRAY® Four um
Siconnex, ein weltweit führender Anbieter für nasschemische Anlagen für die Halbleiterindustrie, hat eines seiner Kernprodukte umbenannt: Das bisher unter dem Namen BATCHSPRAY® Autoload CLEAN bekannte Equipment wird nun als BATCHSPRAY® Four vermarktet. Damit wird der Name an die Vielfalt und die strategische Positionierung der Anlage angepasst. Es wird im November dieses Jahres auf der SEMICON Europa 2025 in München vorgestellt.
Begonnen hat alles mit einem Kundenfeedback, das zeigte, dass der bisherige Name zu einer eingeschränkten Wahrnehmung des Tools führte. Tatsächlich bietet das System eine breite Palette an Funktionen, darunter die flexible Entfernung von Polymeren und den kostengünstigen Ersatz von RCA-Cleans und FSI-Prozessen.
„Kunden gingen oft davon aus, dass CLEAN nur ein Equipment für Reinigungsprozessen ist“, sagte Fabio Wörndl, Co-CEO und CMO bei Siconnex. „Mit vier unabhängigen Kammern und einem breiten Anwendungsspektrum spiegelt der neue Name FOUR seine Vielseitigkeit besser wider.“
BATCHSPRAY® Four – Kosteneinsparung trifft auf Nachhaltigkeit
Der BATCHSPRAY® Four bietet einen hohen Durchsatz von bis zu 500 Wafern pro Stunde, was einer Flächennutzungseffizienz von 38,3 Wafern/Stunde/m² entspricht, und reduziert gleichzeitig den Verbrauch von Chemikalien und DI-Wasser um bis zu 90 % .
Seine Flexibilität unterstützt sowohl FEOL- als auch BEOL-Anwendungen und vereinfacht den Fab-Betrieb, da weniger prozessspezifisches Equipment benötigt werden.
Der neue Name unterstreicht die Vier-Kammer-Konfiguration des Anlage, die entscheidend für den hohen Durchsatz und die Prozessflexibilität ist – bei kompakter Stellfläche.
Siconnex wird den BATCHSPRAY® Four auf der SEMICON Europa 2025 im November dieses Jahres in München ausstellen.