イノベーションの最前線に立ち、perc™、sicOzone™、BATCHSPRAY® テクノロジーなどの最先端のソリューションを提供し、世界中の顧客が化学薬品の消費とコストを大幅に削減できるよう支援してきたSiconnex は、市場での地位と顧客エンゲージメントを強化するため、事業の方向性に関する新たなグローバルビジョンを発表した。
ドライエッチングによるポリマー残渣は、半導体製造において一般的な課題です。この重要な手法は高い精度と効率を提供しますが、後工程に影響を及ぼす可能性のある汚染物質を残すことがあります。しかし、同時に資源とコストの節約につながる大きな機会も提供します。本記事では、洗浄プロセスから溶剤を排除しながら、高効率なポリマー除去を実現し、コストを削減する方法をご紹介します。
