概要

用途

洗浄
エッチング
レジストストリップ

環境に配慮した用途

ポリマー除去
オゾンによる洗浄と剥離

当社の装置はあらゆる製造ステップに最適

ウェーハの製造
ラインのフロントエンド
ラインのバックエンド
パッケージング