BATCHSPRAY^®

Clean

Autoload

インテリジェントなウェーハ処理と経験豊富なウェーハ処理が融合します。

ロボットがウェーハバッチをロードポートからプロセスチャンバーに移送します。

プロセスモジュールの巧みな組み立て。

プロセスモジュールの設置面積が小さく、スマートなウェーハ処理と組み合わせられます。

インラインスパイクテクノロジーにより、脱イオン水の水流に微量の酸をスパイクすることができます。

オゾンは従来の媒体に取って代わり、PRストリップと洗浄の用途で最高の成果をもたらします。

ウェーハの処理効率を高めるために、当社はダーティイン/クリーンアウトプロセス用に特別に設計された専用ハンドラーを提供しています。これらの特殊なハンドラーは、最適な清浄度を確保し、相互汚染を防止し、最高水準のウェーハ完全性を維持します。

お客様固有のプロセス要件を把握するために、当社の装置には左右両方のプロセスチャンバーに専用ハンドラーが含まれています。このカスタマイズされたアプローチにより、ワークフローの柔軟性が最大化され、既存のセットアップへのシームレスな統合が可能になり、生産性と利便性が向上します。