BATCHSPRAY®
Clean
Autoload

機能全般

最大600 wphのスループット

インテリジェントなウェーハ処理と経験豊富なウェーハ処理が融合します。

全自動

ロボットがウェーハバッチをロードポートからプロセスチャンバーに移送します。

4つのプロセスチャンバー

プロセスモジュールの巧みな組み立て。

設置面積12 m²未満

プロセスモジュールの設置面積が小さく、スマートなウェーハ処理と組み合わせられます。

高度希釈された使い切り化学物質

インラインスパイクテクノロジーにより、脱イオン水の水流に微量の酸をスパイクすることができます。

硫酸や過酸化物は必要なし

オゾンは従来の媒体に取って代わり、PRストリップと洗浄の用途で最高の成果をもたらします。

オプションの自動機能

ダーティイン/クリーンアウト処理のための専用ハンドラー

ウェーハの処理効率を高めるために、当社はダーティイン/クリーンアウトプロセス用に特別に設計された専用ハンドラーを提供しています。これらの特殊なハンドラーは、最適な清浄度を確保し、相互汚染を防止し、最高水準のウェーハ完全性を維持します。

左右のプロセスチャンバーのための専用ハンドラー

お客様固有のプロセス要件を把握するために、当社の装置には左右両方のプロセスチャンバーに専用ハンドラーが含まれています。このカスタマイズされたアプローチにより、ワークフローの柔軟性が最大化され、既存のセットアップへのシームレスな統合が可能になり、生産性と利便性が向上します。

ウェーハサイズ

実現可能な用途

洗浄
レジストストリップ
SicOzone

適切な機能

End Point Detection
BATCHSPRAY® Clean Autoload

数え切れないほどのメリット

この4チャンバーシステムは、使用時点での混合化学物質を特許取得済みのリテーナーコーム処理システムと組み合わせて優れたプロセス結果を実現することを特徴としています。過酸化物や硫酸の代わりにSicOzoneを使用して洗浄やレジストストリッピングのようなサステナブルなプロセスを行うことで、化学物質や脱イオン水の消費を最大90%節減することができます。

0%
化学物質と脱イオン水の消費量を節約

従来プロセスとの比較

環境に配慮した目標。環境に配慮したリューション。

テクノロジーは私たちの周りにあり、私たちの日常生活を形作り、よりよいものにしています。Siconnexは、テクノロジーとサステナビリティを融合することで進歩を再定義しています。もはやそれらは対立物として示されません。明日の進歩のためのサステナブルなテクノロジー。環境に配慮した目標。環境に配慮したリューション。

よくある質問

リテーナーコームはプロセスチャンバー専用であり、アイドルモードの間はチャンバー内に留まります。

当社にお気軽にご相談ください。