Effizienz maximieren
Der Gewinn unserer Kunden ist die geringere Stellfläche unserer Anlagen und die niedrigeren Kosten für Prozessmedien. Im gleichen Zug wird die Sicherheit erheblich erhöht.
Warum BATCHSPRAY®?
Der Verbrauch von Chemikalien und Prozessmedien wird erheblich reduziert, die Ressourcen geschont und damit aktiv zur Nachhaltigkeit beiträgen.
Hochentwickelte Halbleiterprodukte und fortschrittliche Technologien steigern die Leistung und Zuverlässigkeit.
Wir fördern Nachhaltigkeit in jedem Schritt. Auch die Reduzierung des Abwassers liegt in unserem Bestreben und zeichnet unsere Produkte aus.
Durch modernste Fortschritte legen wir besonderen Wert auf die Steigerung der Benutzersicherheit und gewährleisten eine sichere und zuverlässige Handhabung.
Mit unseren Anlagen erreichen wir eine signifikante Reduzierung des benötigten Reinraumplatzes und gewährleisten eine erheblich höhere Produktivität pro Quadratmeter.
Schont Ressourcen und reduziert Betriebskosten
Mehrere Düsen und die Rotation der Wafer während des Prozesses gewährleisten ein absolut gleichmäßiges Sprühmuster von Chemikalien auf den Wafern mit einer Schwankungsbreite von unter einem Prozent. Darüber hinaus reduziert unsere Siconnex BATCHSPRAY®-Technologie die relevanten Gesamtbetriebskosten im Vergleich zu Nassbänken um bis zu 80 Prozent.
*Im Vergleich zu herkömmlichen Nassbänken
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Gleichmäßiges Sprühmuster