BATCHSPRAY®
Clean
Autoload

Merkmale

Durchsatz bis zu 600 wph

Ausgeklügeltes Wafer-Handling trifft auf erfahrene Wafer-Verarbeitung.

Vollautomatisiert

Die Wafercharge wird automatisiert vom Loadport in die Prozesskammer von einem Roboter transportiert.

4 Prozesskammern

Clevere Kombination von Prozessmodulen.

Stellfläche <12 m²

Geringe Stellflächen für Prozessmodule kombiniert mit intelligentem Wafer-Handling.

Stark verdünnte Einwegchemikalie

Die Inline-Spiking-Technologie ermöglicht es, winzige Mengen an Säuren in einen DI-Wasserstrom beizumengen.

Keine Schwefelsäure, kein Peroxid erforderlich

Ozon ersetzt herkömmliche Medien und bringt deren Anwendungen von PR-Strip und Clean zu seinem Meisterstück.

Optionen für Automatisierung

Separate Werkzeuge für den Transfer von kontaminierten und sauberen Wafern

Um die Effizienz im Wafertransfer zu verbessern, bieten wir Werkszeuge an, die für Dirty-In/Clean-Out-Prozesse entwickelt wurden. Diese Transferwerkzeuge gewährleisten optimale Sauberkeit und verhindern Querkontaminationen, so dass die höchsten Standards für die Wafer eingehalten werden.

Separate Werkzeuge für linke und rechte Prozesskammer

Um Ihren individuellen Prozessanforderungen gerecht zu werden, besitzt die Automatisierung separate Werkzeuge für die linke und rechte Prozesskammer. Dieser maßgeschneiderte Ansatz maximiert die Flexibilität des Arbeitsablaufs und ermöglicht eine nahtlose Integration in Ihre bestehende Anlage und steigert Produktivität und Komfort.

Geeignete Wafer-Größen

Anwendungen

Reinigen
Photolack entfernen
SicOzone

Optionen

End point detection
BATCHSPRAY® Clean Autoload

Zählbare Vorteile

Dieses Vierkammersystem bietet für den Einsatz von stark verdünnten Chemikalien in Kombination mit dem patentierten Retainer-Comb-Handling-System hervorragende Prozessergebnisse. Bei nachhaltigen Prozessen wie der Reinigung oder Entlackung mit SicOzone anstelle von Peroxid und Schwefelsäure lassen sich Einsparungen von bis zu 90 % beim Verbrauch von Chemikalien und DI-Wasser erzielen.

0%
Verbrauch von Chemikalien und DI-Wasser

*Im Vergleich zu herkömmlichen Verfahren

Green Goals. Yellow Solutions.

Technologie ist in unserem Alltag fest verankert und ermöglicht uns ein privilegiertes und fortschrittliches Leben. Siconnex definiert Fortschritt neu, indem es Technologie und Nachhaltigkeit verschmelzen lässt und sie nicht länger als Gegensätze präsentiert. Nachhaltige Technologie für den Fortschritt von morgen. Green Goals. Yellow Solutions.

FAQs

Die Rückhaltekämme sind für eine Prozesskammer bestimmt und befinden sich im Ruhezustand immer in der Kammer.