Siconnex

Green goals. Yellow solutions.

In der High-Tech-Welt der Halbleiterherstellung gewinnen nachhaltige Produktions-Methoden zunehmend an Bedeutung. Unternehmen suchen nach Möglichkeiten, Ressourcen zu schonen und Chemikalien effizienter zu nutzen. Siconnex erkannte das Potential des Sprühverfahrens bereits vor mehr als 20 Jahren und treibt seither die eigene BATCHSPRAY®-Technologie voran. Mit den gelben Technologien trägt Siconnex zu einer grüneren Zukunft der Halbleiter-Industrie bei.

Siconnex Produkte sind bekannt für

Geringer Verbrauch von Chemikalien

 

Erhebliche Wasserersparnis

 

Verringerung von schädlichen Abgasen

 

Energieersparnis

 

Vergleich

BATCHSPRAY® vs. Nassbank

Das Sprühverfahren erweist sich als die umweltfreundlichere Wahl im Verlgeich zu Nassbänken. Geringere Mengen an Chemikalien, Wasser sind notwendig und weniger Abfallprodukte entstehen. Zudem entwickelte Siconnex sein eigenes Sprühverfahren, die BATCHSPRAY® Technologie. Diese Technologie basiert auf einem geschlossenen, rezirkulierenden System, in dem Reinigungs- und Ätzprozesse effizient durchgeführt werden können.

Anlage

Ersparnis-Beispiel

0%
Verringerung der Stellfläche
0%
Reduktion der Energie
0%
Reduktion von Abgasen
0%
Ersparnis von Prozessmedien

Im Vergleich zu herkömmlichen Nassbank-Anlagen

Ersparnis-Beispiel

PERC™ Anwendung

Reduktion des Abwassers
%
Reduktion des Chemikalien-Verbrauchs
%

Im Verlgeich zu herkömmlichen Reinigungsanwendungen

Ersparnis-Beispiel

SicOzone Anwendung

Reduktion des Chemieverbrauchs
%
Reduktion des Abwassers
%

Im Verlgeich zu herkömmlichen Nassbank-Anlagen

Nachhaltige Technologien

Anwendung

SicOzone

SicOzone zeichnet sich in der Branche durch seine beispiellose Effizienz bei Reinigungs- und Fotolack-Entfernung aus. Chemikalien wie Schwefelsäure & Wasserstoffperoxid lassen sich durch die Verwendung von Ozone völlig ersetzt.

Anwendung

PERC™

percTM ermöglicht eine einfache und flexible Polymerentfernung. Daher wird es zur Entfernung von Polymerrückständen nach Trockenätzprozessen wie Metall-, Oxid-, Silizium- oder VIA-Ätzen verwendet.

Technologie

BATCHSPRAY®

BATCHSPRAY®, unsere Kerntechnologie in all unseren Geräten für effiziente chemische Reinigungen, Ätzung, Spülung und Trocknung in einer vielseitigen Prozesskammer.

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