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9月 2026

Fraunhofer IZM Berlin、Siconnex BATCHSPRAY® Acid によりウェーハ洗浄を近代化

ベルリンの Fraunhofer 信頼性・マイクロインテグレーション研究所（Fraunhofer IZM）は、このたび Siconnex BATCHSPRAY® Acid システムの導入に成功しました。システムのフックアップおよび認定プロセスを完了したことで、同研究所は手作業による湿式洗浄から脱却し、今後はクローズドシステムによる全自動ソリューションへ移行します。
これにより同研究所は、先進パッケージング向け最先端開発センターである APECS パイロットラインにおけるプロセス標準化に向けた重要な一歩を踏み出しました。

 

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先進パッケージング向けのプロセス安定性と安全性
Siconnex BATCHSPRAY® テクノロジーへの移行により、浸漬時間のばらつき、薬液濃度の変動、オペレーターエラーのリスクといった、手動洗浄プロセス特有の変動要因が排除されます。 クローズド型の装置コンセプトは、作業安全性を新たなレベルへ引き上げると同時に、薬液消費量と処理時間を大幅に削減します。その結果、Cost of Ownership（CoO）も持続的に改善されます。
特に研究機関や研究開発部門にとって、高いプロセス柔軟性は不可欠です。本装置はその要件を最適に満たしており、さまざまなサイズや材料の平坦ウェーハおよび構造化ウェーハを、最大限の資源効率で処理できます。同時に、高い再現性を持つ表面状態を実現し、酸化プロセスやウェーハボンディングなどの後工程となる重要プロセスに最適な条件を提供します。

Fraunhofer IZM は、この実用性について次のように評価しています。
「Siconnex BATCHSPRAY® Acid は、Fraunhofer IZM の APECS パイロットラインに統合され、標準化されたウェーハ洗浄プロセスを支援しています。さまざまな種類やサイズのウェーハに対応できる柔軟性により、クリーンルーム環境における適用範囲を拡大しています。さらに、コンパクトな設計、低い媒体消費量、そしてクローズド運転コンセプトとの組み合わせにより、応用研究、プロセス開発、技術移転のための信頼性の高いプロセス環境を提供しています。」

 

写真：© Fraunhofer IZM | Francis Viebeck