BATCHSPRAY®
Solvent

機能全般

最大150 wphのスループット

インテリジェントなウェーハ処理と経験豊富なウェーハ処理が融合します。

半自動

バッチがチャンバーに移送されると、プロセスフローはいくつかのプロセスステップを通じて自動化されます。

設置面積2 m²

プロセスモジュールの設置面積が小さく、スマートなウェーハ処理と組み合わせられます。

SiC/GaNでプロセス実行可能

SiCおよびGaNの基板とそのプロセス向けに準備されています。

タンクシステムによる化学物質の再循環

化学物質を再循環させることで、安定した温度と濃度の状態が得られます。

25枚または50枚ウェーハのチャンバーを使用可能
抽出可能なプロセスチャンバー
ATEX安全規格

ウェーハサイズ

実現可能な用途

洗浄
レジスト剝離

適切な機能

DIWスパイキング

環境に配慮した目標。環境に配慮したリューション。

テクノロジーは私たちの周りにあり、私たちの日常生活を形作り、よりよいものにしています。Siconnexは、テクノロジーとサステナビリティを融合することで進歩を再定義しています。もはやそれらは対立物として示されません。明日の進歩のためのサステナブルなテクノロジー。環境に配慮した目標。環境に配慮したリューション。

よくある質問

タンクサイズは20リットルです。

乾燥プロセスでは、ウェーハを非常に高速で回転させながら、高温の窒素をチャンバー内に注入します。

化学物質の加熱にはインラインヒーターを使用します。

10インチのフィルターが使用可能です。

CO2を有効にすることで、DIWの流れにCO2が注入され、金属の腐食が防止されます。