BATCHSPRAY®
Acid
Autoload

機能全般

ばらつきが1%未満の均一性

制御されたウェーハ回転とスマートなケミカルスプレー量増加の組み合わせにより、優れた均一性が生じます。

最大300 wphのスループット

インテリジェントなウェーハ処理と経験豊富なウェーハ処理が融合します。

全自動

ロボットがウェーハバッチをロードポートからプロセスチャンバーに移送します。

2つのプロセスチャンバー

プロセスモジュールを巧みに組み立てることで、2つのプロセスチャンバーを実現しました。

設置面積12 m²未満

プロセスモジュールの設置面積が小さく、スマートなウェーハ処理と組み合わせられます。

SiC/GaNでプロセス実行可能

SiCおよびGaNの基板とそのプロセス向けに準備されています。

タンクシステムによる化学物質の再循環

化学物質を再循環させることで、安定した温度と濃度の状態が得られます。

オプションの自動機能

ダーティイン/クリーンアウト処理のための専用ハンドラー

ウェーハの処理効率を高めるために、当社はダーティイン/クリーンアウトプロセス用に特別に設計された専用ハンドラーを提供しています。これらの特殊なハンドラーは、最適な清浄度を確保し、相互汚染を防止し、最高水準のウェーハ完全性を維持します。

左右のプロセスチャンバーのための専用ハンドラー

お客様固有のプロセス要件を把握するために、当社の装置には左右両方のプロセスチャンバーに専用ハンドラーが含まれています。このカスタマイズされたアプローチにより、ワークフローの柔軟性が最大化され、既存のセットアップへのシームレスな統合が可能になり、生産性と利便性が向上します。

ウェーハサイズ

Siconnex装置で可能なプロセス

エッチング
洗浄
レジスト剝離
SicOzone

適切な機能

End Point Detection
BATCHSPRAY® Acid Autoload 300 mm

数え切れないほどのメリット

この2チャンバーシステムは、優れたエッチングの均一性を提供するだけでなく、化学物質を節減します。そして、すべてのタイプのウェットエッチングプロセスに対応しています。高い精度のタンク内における化学物質の混合、エンドポイント検出(EPD)、特許取得済みのリテイナーコーム処理システムが含まれています。さらに、SicOzoneレジストストリップを同じチャンバーに適用でき、これにより柔軟性が向上するだけでなく、処理ステップを減らすこともできます。

ウェーハあたりのコストの削減
%
スループットの向上
%
設置面積の削減
%

*従来の方法との比較

環境に配慮した目標。環境に配慮したリューション。

テクノロジーは私たちの周りにあり、私たちの日常生活を形作り、よりよいものにしています。Siconnexは、テクノロジーとサステナビリティを融合することで進歩を再定義しています。もはやそれらは対立物として示されません。明日の進歩のためのサステナブルなテクノロジー。環境に配慮した目標。環境に配慮したリューション。