BATCHSPRAY®Acid
機能全般
制御されたウェーハ回転とスマートなケミカルスプレー量増加の組み合わせにより、優れた均一性が実現します。
インテリジェントなウェーハ処理と経験豊富なウェーハ処理が融合します。
バッチがチャンバーに移送されると、プロセスフローはいくつかのプロセスステップを通じて自動化されます。
プロセスモジュールの設置面積が小さく、スマートなウェーハ処理と組み合わせられます。
化学物質を再循環させることで、安定した温度と濃度の状態が得られます。
SiCおよびGaNの基板とそのプロセス向けに準備されています。
ウェーハサイズ
ウエハ材料
実現可能な用途
適切な機能
SicOzone
オゾンを柔軟な量のアンモニア、塩酸、フッ化水素酸、水と組み合わせて適切に使用することで、優れた洗浄性能が実現されます。オゾンと組み合わせた微量のアンモニアをスパイクすることにより、最小限の脱イオン水の水流をウェーハに適用し、スプレーすることで、従来のSC1ステップの再現が可能になります。SC1およびDHFについても同様です。当社のインラインスパイキングテクノロジーが提供する高い柔軟性により、洗浄効率を簡単に制御できます。
End Point Detection
SiconnexのEnd Point Detectionは、エッチングされた金属の光反射を使用してエッチングプロセスを制御するシステムです。このシステムは化学物質の消費量を削減し、金属エッチングの優れたプロセス制御と再現性を提供します。
よくある質問
乾燥のために、高温の窒素がチャンバ内に注入され、高速回転と低速回転を組み合わせてウェーハを回転させます。
ソフトウェアによって制御される標準的なリンスシーケンスにより、ウェーハとチャンバーが完全にリンスされることが保証されます。
装置内には4個のタンクがあります。
タンクのサイズについて、標準タンクの場合は16リットル、大容量タンクの場合は32リットルです。
タンクの加熱にはインラインヒーターが使用されます。
10インチのフィルターが使用可能です。
タンクごとに1つのプロセスがあり、タンクは4つあります。最大7つのプロセスをオゾンとその機能と組み合わせることができます。
はい、唯一の制限は温度であり、120°Cに制限されています。
化学物質の濃度モニタリングインターフェース（ハードウェアおよびソフトウェア）は各プロセスタンクに標準装備されております。プローブはお客様ご提供となります。
CO2混合DIW供給機能は、BATCHSPRAY® Solventの構成では標準装備されており、BATCHSPRAY® Acidの構成ではオプションです。
露出した金属層に適合する場合は、SicOzone プロセスを使用します。 そうでない場合は、ATEX非対応の装置で使用可能な不燃性の剥離液であれば使用することができます。