BATCHSPRAY®
Acid/Clean
Autoload

機能全般

ばらつきが1%未満の均一性

制御されたウェーハ回転とスマートなケミカルスプレー量増加の組み合わせにより、優れた均一性が実現します。

最大400 wphのスループット

インテリジェントなウェーハ処理と経験豊富なウェーハ処理が融合します。

全自動

ロボットがウェーハバッチをロードポートからプロセスチャンバーに移送します。

2つの洗浄プロセスチャンバー

プロセスモジュールを巧みに組み立てることで、2つのプロセスチャンバーを実現しました。

設置面積12 m²未満

プロセスモジュールの設置面積が小さく、スマートなウェーハ処理と組み合わせられます。

EPD – End Point Detectionシステム

酸用途専用

タンクシステムによる化学物質の再循環

化学物質を再循環させることで、安定した温度と濃度の状態が得られます。酸用途専用。

オプションの自動機能

ダーティイン/クリーンアウト処理のための専用ハンドラー

ウェーハの処理効率を高めるために、当社はダーティイン/クリーンアウトプロセス用に特別に設計された専用ハンドラーを提供しています。これらの特殊なハンドラーは、最適な清浄度を確保し、相互汚染を防止し、最高水準のウェーハ完全性を維持します。

左右のプロセスチャンバーのための専用ハンドラー

お客様固有のプロセス要件を把握するために、当社の装置には左右両方のプロセスチャンバーに専用ハンドラーが含まれています。このカスタマイズされたアプローチにより、ワークフローの柔軟性が最大化され、既存のセットアップへのシームレスな統合が可能になり、生産性と利便性が向上します。

ウェーハサイズ

実現可能な用途

エッチング
洗浄
レジスト剝離
SicOzone

適切な機能

EPD
BATCHSPRAY® Acid/Clean Autoload

数え切れないほどのメリット

この3チャンバーシステムは、特許取得済みのリテイナーコーム処理システムを使用することで、あらゆるタイプのウェットエッチングプロセスと洗浄アプリケーションに対応しています。酸/洗浄の組み合わせにより、高いプロセスの柔軟性と高いスループットを達成できます。過酸化物や硫酸の代わりにSicOzoneを使用して洗浄やレジストストリッピングのようなサステナブルなプロセスを行うことで、化学物質や脱イオン水の消費を最大90%節減することができます。

0%
化学物質と脱イオン水の消費量(最大)

*従来の方法との比較

環境に配慮した目標。環境に配慮したリューション。

テクノロジーは私たちの周りにあり、私たちの日常生活を形作り、よりよいものにしています。Siconnexは、テクノロジーとサステナビリティを融合することで進歩を再定義しています。もはやそれらは対立物として示されません。明日の進歩のためのサステナブルなテクノロジー。環境に配慮した目標。環境に配慮したリューション。