Siconnex
BATCHSPRAY® Acid

Effizienz hat einen Namen.

Die Siconnex BATCHSPRAY® Acid ist für Säuren und Basen konzipiert. Sie kann manuell beladen oder mit Siconnex BATCHSPRAY® Autoload kombiniert werden. Die Anlage ist ein komplett geschlossenes System, somit ist der Operator geschützt vor direktem Kontakt mit Chemikalien. Der Prozessvorgang ist dadurch sicher und darüber hinaus umweltschonend. Die Siconnex BATCHSPRAY® Acid kann Wafergrößen von 50 mm bis 300 mm prozessieren.

Vorteile

  • Automatisierter Trocken-zu-Trocken-Prozess
  • Fünf Prozesse in einer Sequenz möglich
  • Wiederholbarkeit durch Prozessregelung
  • Stellfläche 1.2 m x 2 m
  • bis zu 80 % weniger DI Wasser
  • bis zu 80 % weniger Medienverbrauch
  • Abgeschlossenes System
  • Benutzersicher
  • Chemiemischungsmanagementsystem
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Etch

  • Metal Etch (Al, Cu, Ti, Au, Ni,…) with End Point Detection
  • III/V Etch (GaAs, AlGaAs, InGaP,…)
  • Oxide Etch
  • Freckle Etch
  • Silicon Etch
  • Ge Etch
  • Nitride Etch
  • UBM Etch
  • Glass Etch
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Clean

  • SicOzoneTM Clean
  • SicOzoneTM + Ultra Diluted Clean Applications
  • Contact Cleans
  • Organic Removal & Clean
  • Etch Residue Clean
  • Post Ash Residue Clean
  • HF Last
  • Prediffusion Cleans
  • Field Cleans (Organic & Inorganic Cleans)
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Resist Strip

  • SicOzoneTM Strip
  • Positive and Negative Resist Strip
  • Implanted Photo Resist Strip
  • Enhanced Strip
  • Resist Rework

Der SicOzone™-Prozess

Eine Win-Win-Win-Situation

Reinigt und löst Lack von Substraten.
Keine teuren, gesundheitsschädlichen Lösemittel notwendig.
Ozon aus Sauerstoff ist in der Herstellung günstig.

Aller guten Vorteile sind drei oder auch: Win Win Win!
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Weltweit vertreten

Siconnex Österreich

Siconnex customized solutions GmbH
Gewerbestrasse 2
5322 Hof bei Salzburg
Tel: +43 6229 36 646-0
Fax: +43 6229 36 646-146
E-Mail: office@siconnex.com

Siconnex Frankreich

83 Rue roger du Marais 8
38430 Moirans
Tel: +33 631 30 55 54
E-Mail: france@siconnex.com

Siconnex Malaysia

Siconnex Malaysia Sdn. Bhd.
No 1-04-15 e-Gate
Lebuh Tunku Kudin 2

11700 Gelugor Penang
Tel: +6 012 4256568
E-Mail: malaysia@siconnex.com

Siconnex Amerika

3010 LBJ Freeway Suite 1200
75234 Dallas, Texas
Tel: +1 214 710 2469
E-Mail: america@siconnex.com

Siconnex Singapur

Siconnex Singapur Pte. Ltd.
4 Battery Road
Bank of China Building #25-01

049908 Singapore
Tel: +65 838 88977
E-Mail: singapore@siconnex.com

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