安定したエッチング結果

EPDシステムは、金属層のエッチングを制御するアプリケーションです。光源が最初のウェーハを照らし、反射された波長が分光計によって記録されます。層をエッチングすると、反射波長が変化します。これらの変化は評価され、エッチングがいつ希望のエンドポイントに達するかを定義するために使用されます。EPDシステムを使用すると、金属の全自動エッチングが可能です。さらに、化学物質の濃度や温度などの影響が排除されるため、エッチング結果の一貫性が実現されます。