BATCHSPRAY®Acid/CleanAutoload
Merkmale
Präzise Überwachung der Wafer-Rotation und des Chemieflusses garantieren eine überragende Ätzhomogenität.
Ausgeklügeltes Wafer-Handling trifft auf erfahrene Wafer-Verarbeitung.
Die Wafercharge wird automatisiert vom Loadport in die Prozesskammer von einem Roboter transportiert.
Durch eine geschickte Zusammenstellung von Prozessmodulen sind zwei Prozesskammern für Reinigungsanwendungen möglich.
Eine Prozesskammer für Ätzanwendungen.
Geringe Stellflächen für Prozessmodule kombiniert mit intelligentem Wafer-Handling.
Nur für Ätzanwendungen
Die Rezirkulation der Chemikalie sorgt für stabile Temperatur- und Konzentrationsbedingungen.
Optionen zur Automatisierung
Um die Effizienz im Wafertransfer zu verbessern, bieten wir Werkszeuge an, die für Dirty-In/Clean-Out-Prozesse entwickelt wurden. Diese Transferwerkzeuge gewährleisten optimale Sauberkeit und verhinderen Querkontaminationen, so dass die höchsten Standards für die Wafer eingehalten werden.
Um Ihren individuellen Prozessanforderungen gerecht zu werden, besitzt die Automatisierung separate Werkzeuge für die linke und rechte Prozesskammer. Dieser maßgeschneiderte Ansatz maximiert die Flexibilität des Arbeitsablaufs und ermöglicht eine nahtlose Integration in Ihre bestehende Anlage und steigert Produktivität und Komfort.
Geeignete Wafer-Größen
Halbleitermaterial
Anwendungen
Optionen
Zählbare Vorteile
Dieses Dreikammersystem ermöglicht alle Arten von Nassätzprozessen zusammen mit sauberen Anwendungen unter Verwendung des patentierten Retainerkamm-Handhabungssystems. Die Säure/Reinigungskombination führt zu hoher Prozessflexibilität und erhöhtem Durchsatz. Mit nachhaltigen Prozessen wie Reinigung oder Resiststrippen unter Verwendung von SicOzone anstelle von Peroxid und Schwefelsäure können Einsparungen von bis zu 90% beim Verbrauch von Chemikalien und DI-Wasser erzielt werden.
*Im Vergleich zu herkömmlichen Verfahren
Green Goals. Yellow Solutions.
Technologie ist in unserem Alltag fest verankert und ermöglicht uns ein privilegiertes und fortschrittliches Leben. Siconnex definiert Fortschritt neu, indem es Technologie und Nachhaltigkeit verschmelzen lässt und sie nicht länger als Gegensätze präsentiert. Nachhaltige Technologie für den Fortschritt von morgen. Green Goals. Yellow Solutions.