RETAINER COMB HANDLING system.

Beeindruckende Vorteile mit der patentierten Lösung von Siconnex.

Das Retainer Comb Handling (RCH) System kombiniert ein einfaches Design mit einer herausragenden Prozessperformance.

BATCHSPRAY® Autoload und das Retainer Comb Handling System werden kombiniert mit:
BATCHSPRAY® Acid / BATCHSPRAY® Solvent / BATCHSPRAY® Clean

Das Retainer Comb Handling System ermöglicht den gleichzeitigen Transfer von einem 27 Wafer Los mit 12“ oder 52 Wafern mit 8“. Inkludiert sind hierbei ein oberer und unterer Schutzwafer. Ein Einzelwafer-Greifer, eigens konzipiert von Siconnex, positioniert diese Schutzwafer vor Prozessstart in der Waferstation. Ebenso füllt der Einzelwafer-Greifer alle leeren Slots mit weiteren Substraten auf um ein außerordentlich gutes Prozessergebnis zu erreichen.
Während der Prozess in einer Anlage läuft, bereitet das Retainer Comb Handling System das nächste Los bei einer weiteren Waferstation vor. Das stellt einen kontinuierlichen Prozessablauf und einen größtmöglichen Durchsatz sicher. Ein signifikanter Vorteil des patentierten Retainer Comb Handling Systems ist der große Öffnungsbereich. Dieser garantiert, dass für jeden einzelnen Wafer exakt gleiche Prozesskonditionen bei Temperatur, Durchfluss und Chemieaustausch gelten.

Patentnummer: AT 515531 B1 2015-10-15 | DE 102015217132A1 | US 9,698,032 B2

Vorteile

  • Kombinierbar mit allen Siconnex Anlagetypen
  • Für 8“ und 12“ Substratgrößen
  • 80% größerer Öffnungsbereich sorgt für einen optimalen Chemieaustausch am Wafer
  • Symmetrisches Design garantiert minimale Vibrationen, auch bei unterschiedlichster Beladung
  • Schneller und einfacher Austausch der RCH Kämme ohne Unterweisung möglich
  • Gem300 Standard kompatibel
  • Je nach Kundenwunsch sind verschiedene Anwendungen möglich:
  • unterschiedliche Greifer für dirty in/clean out handling
  • unterschiedliche Greifer für eine linke und rechte Prozesskammer

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Weltweit vertreten

Siconnex Österreich

Siconnex customized solutions GmbH
Gewerbestrasse 2
5322 Hof bei Salzburg
Tel: +43 6229 36 646-0
Fax: +43 6229 36 646-146
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83 Rue roger du Marais
38430 Moirans, France
Tel: +33 631 30 55 54
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Siconnex Amerika

Siconnex America Inc.
5445 Legacy Drive, Suite 120
75024 Plano, Texas, USA
Tel: +1 469 465 7831
E-Mail: america@siconnex.com

Siconnex Malaysia

Siconnex Malaysia Sdn. Bhd.
No 1-04-15 e-Gate
Lebuh Tunku Kudin 2

11700 Gelugor Penang, Malaysia
Tel: +6 012 4256568
E-Mail: malaysia@siconnex.com

Siconnex Singapur

Siconnex Singapore Pte. Ltd.
4 Battery Road
Bank of China Building #25-01

049908 Singapore, Singapore
Tel: +65 838 88977
E-Mail: singapore@siconnex.com

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