Das Retainer Comb Handling (RCH) System kombiniert ein einfaches Design mit einer herausragenden Prozessperformance.

BATCHSPRAY® Autoload und das Retainer Comb Handling System werden kombiniert mit:
BATCHSPRAY® Acid / BATCHSPRAY® Solvent / BATCHSPRAY® Clean

Das Retainer Comb Handling System ermöglicht den gleichzeitigen Transfer von einem 27 Wafer Los mit 12“ oder 52 Wafern mit 8“. Inkludiert sind hierbei ein oberer und unterer Schutzwafer. Ein Einzelwafer-Greifer, eigens konzipiert von Siconnex, positioniert diese Schutzwafer vor Prozessstart in der Waferstation. Ebenso füllt der Einzelwafer-Greifer alle leeren Slots mit weiteren Substraten auf um ein außerordentlich gutes Prozessergebnis zu erreichen.
Während der Prozess in einer Anlage läuft, bereitet das Retainer Comb Handling System das nächste Los bei einer weiteren Waferstation vor. Das stellt einen kontinuierlichen Prozessablauf und einen größtmöglichen Durchsatz sicher. Ein signifikanter Vorteil des patentierten Retainer Comb Handling Systems ist der große Öffnungsbereich. Dieser garantiert, dass für jeden einzelnen Wafer exakt gleiche Prozesskonditionen bei Temperatur, Durchfluss und Chemieaustausch gelten.

Vorteile

• Kombinierbar mit allen Siconnex Anlagetypen
• Für 8“ und 12“ Substratgrößen
• 80% größerer Öffnungsbereich sorgt für einen optimalen Chemieaustausch am Wafer
• Symmetrisches Design garantiert minimale Vibrationen, auch bei unterschiedlichster Beladung
• Schneller und einfacher Austausch der RCH Kämme ohne Unterweisung möglich
• Gem300 Standard kompatibel
• Je nach Kundenwunsch sind verschiedene Anwendungen möglich:
• unterschiedliche Greifer für dirty in/clean out handling
• unterschiedliche Greifer für eine linke und rechte Prozesskammer