Optimierte Performance des Prozesses

Unser Retainer Comb Handling System ist so konzipiert, dass es vollständig mit allen Siconnex Anlagen kompatibel ist und Ihnen eine umfassende Lösung für Ihre Wafer-Verarbeitungsanforderungen bietet.

Vielseitigkeit ist das A und O bei der Waferverarbeitung, und genau das bieten unsere Anlagen. Egal, ob Sie 50 8-Zoll-Wafer oder 25 12-Zoll-Wafer verarbeiten müssen, unsere Anlagen sind für beide Szenarien geeignet.

Mit unserem fortschrittlichen 25-Wafer-Handler werden 25 Wafer gleichzeitig transferiert, was zu einer erheblichen Effizienzsteigerung führt. Das spart wertvolle Zeit und auch Ressourcen.

Für einen effizienten Betrieb ist es unerlässlich, den Prozess der Waferverarbeitung im Auge zu behalten. Mit der integrierten Wafer-Erkennung auf dem Handler und an der Wafer-Station können Sie Ihren Produktionsstatus in Echtzeit verfolgen.

Durch die maximale Öffnungsfläche in unseren Anlagen erzielen wir hervorragende Ergebnisse. Durch die Gewährleistung eines optimalen Chemieaustauschs auf der Waferoberfläche garantieren wir Präzision und Konsistenz in jedem Prozessschritt.

Wir bieten durchdachte Lösungen, um gleichbleibende Bedingungen für Ihre gesamte Produktion zu gewährleisten. Dabei haben Sie die Möglichkeit, die Charge mit Schutzscheiben zu komprimieren und/oder abzuschirmen.

Um die Effizienz im Wafertransfer zu verbessern, bieten wir Werkszeuge an, die für Dirty-In/Clean-Out-Prozesse entwickelt wurden. Diese Transferwerkzeuge gewährleisten optimale Sauberkeit und verhinderen Querkontaminationen, so dass die höchsten Standards für die Wafer eingehalten werden.

Um Ihren individuellen Prozessanforderungen gerecht zu werden, verfügen unsere Geräte über spezielle Handler für die linke und rechte Prozesskammer. Dieser maßgeschneiderte Ansatz maximiert die Flexibilität des Arbeitsablaufs und ermöglicht eine nahtlose Integration in Ihre bestehende Anlage, um Produktivität und Komfort zu verbessern.