Siconnex BATCHSPRAY® Solvent

Eine Investition in die Zukunft

Die Siconnex BATCHSPRAY® Solvent kann Lösemittel verschiedenster Art prozessieren. Die Anlage ist ein komplett geschlossenes System, somit ist der Operator geschützt vor direktem Kontakt mit Chemikalien. Der Prozessvorgang ist dadurch sicher und darüber hinaus umweltschonend. Siconnex BATCHSPRAY® Solvent ist für Substratgrößen von 2“ bis 12“ erhältlich und mit der Siconnex BATCHSPRAY® Autoload und dem patentierten Retainer Comb Handling (RCH) System kompatibel.

Vorteile

  • Automatisierter Trocken-zu-Trocken-Prozess
  • 25- oder 50-Wafer-Kammer erhältlich
  • Linker oder rechter Rahmenanschlag wählbar
  • Geringe Stellfläche durch nur dreiseitigen Servicezugang
  • Kompatibel mit Autoload-Robotersystem und dem patentierten RCH System
  • Inline-Heizsysteme für Chemikalien
  • Genaue Temperaturkontrolle durch Tankkühleinheit
  • Größeres Tankvolumen
  • Direkte Prozessleitung für zusätzliche Chemiezufuhr
  • Ausziehbare Prozesskammer für erleichterten Servicezugang

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Clean

  • Polymer Clean
  • Etch Residue Clean
  • Post Ash Residue Clean
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Resist Strip

  • Positive Resist Strip
  • Negative Resist Strip
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Resist Developing

  • Photoresist Developing
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Weltweit vertreten

Siconnex Österreich

siconnex customized solutions GmbH
Gewerbestrasse 2
5322 Hof bei Salzburg
Tel: +43 6229 36 646-0
E-Mail: office@siconnex.com

Siconnex Amerika Texas - US Headquarters

Siconnex America Inc.
5445 Legacy Drive, Suite 120
75024 Plano, Texas, USA
Tel: +1 469 465 7831
E-Mail: america@siconnex.com

Siconnex Amerika New York

Siconnex America Inc.
2345 Route 52, Suite 2-C
12533 Hopewell Junction, New York, USA
Tel: +1 469 465 7831
E-Mail: america@siconnex.com

Siconnex Frankreich

83 Rue roger du Marais
38430 Moirans, France
Tel: +33 631 30 55 54
E-Mail: france@siconnex.com

Siconnex Japan G.K.

3-2-17-202 Jiyugaoka
Meguro-ku Tokyo
152-0035 Tokyo
Tel: +81 343462435
E-Mail: japan@siconnex.com

Siconnex Malaysia

Siconnex Malaysia Sdn. Bhd.
No. 1 – 04 – 15 E-Gate Lebuh Tunku Kudin 2
11700 Gelugor Penang, Malaysia
Tel: +6 012 4256568
E-Mail: malaysia@siconnex.com

Siconnex Singapur

Siconnex Singapore Pte. Ltd.
60 Paya Lebar Rd. #05-07 Paya Lebar Square
409051 Singapore, Singapore
Tel: +65 31051762
E-Mail: singapore@siconnex.com

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