Siconnex BATCHSPRAY® Solvent 2.0

Eine Investition in die Zukunft

Die neue Siconnex BATCHSPRAY® Solvent 2.0 kann Lösemittel verschiedenster Art prozessieren. Sie ist für Substratgrößen von 2“ bis 12“ erhältlich und mit der Siconnex BATCHSPRAY® Autoload kompatibel.

Vorteile

  • Für 2“ bis 12“ Substrate
  • 25- oder 50-Wafer-Kammer erhältlich
  • Linker oder rechter Rahmenanschlag wählbar
  • Geringe Stellfläche durch nur dreiseitigen Servicezugang
  • Kompatibel mit Autoload-Robotersystem
  • Standardisierte Versorgungsanschlüsse
  • Inline-Heizsysteme für Chemikalien
  • Genaue Temperaturkontrolle durch Tankkühleinheit
  • High Flow Tank erhältlich
  • Größeres Tankvolumen
  • Bis zu vier Prozess Tanks konfigurierbar
  • Direkte Prozessleitung für zusätzliche Chemiezufuhr
  • Ausziehbare Prozesskammer für erleichterten Servicezugang
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Clean

  • Polymer Clean
  • Etch Residue Clean
  • Post Ash Residue Clean
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Resist Strip

  • Positive Resist Strip
  • Negative Resist Strip
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Resist Developing

  • Photoresist Developing
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Weltweit vertreten

Siconnex Österreich

Siconnex customized solutions GmbH
Gewerbestrasse 2
5322 Hof bei Salzburg
Tel: +43 6229 36 646-0
Fax: +43 6229 36 646-146
E-Mail: office@siconnex.com

Siconnex Frankreich

83 Rue roger du Marais
38430 Moirans
Tel: +33 631 30 55 54
E-Mail: france@siconnex.com

Siconnex Malaysia

Siconnex Malaysia Sdn. Bhd.
No 1-04-15 e-Gate
Lebuh Tunku Kudin 2

11700 Gelugor Penang
Tel: +6 012 4256568
E-Mail: malaysia@siconnex.com

Siconnex Amerika

3010 LBJ Freeway Suite 1200
75234 Dallas, Texas
Tel: +1 214 710 2469
E-Mail: america@siconnex.com

Siconnex Singapur

Siconnex Singapur Pte. Ltd.
4 Battery Road
Bank of China Building #25-01

049908 Singapore
Tel: +65 838 88977
E-Mail: singapore@siconnex.com

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