Siconnex BATCHSPRAY® Solvent
Eine Investition in die Zukunft
Die Siconnex BATCHSPRAY® Solvent kann Lösemittel verschiedenster Art prozessieren. Die Anlage ist ein komplett geschlossenes System, somit ist der Operator geschützt vor direktem Kontakt mit Chemikalien. Der Prozessvorgang ist dadurch sicher und darüber hinaus umweltschonend. Siconnex BATCHSPRAY® Solvent ist für Substratgrößen von 2“ bis 12“ erhältlich und mit der Siconnex BATCHSPRAY® Autoload und dem patentierten Retainer Comb Handling (RCH) System kompatibel.
Vorteile
- Automatisierter Trocken-zu-Trocken-Prozess
- 25- oder 50-Wafer-Kammer erhältlich
- Linker oder rechter Rahmenanschlag wählbar
- Geringe Stellfläche durch nur dreiseitigen Servicezugang
- Kompatibel mit Autoload-Robotersystem und dem patentierten RCH System
- Inline-Heizsysteme für Chemikalien
- Genaue Temperaturkontrolle durch Tankkühleinheit
- Größeres Tankvolumen
- Direkte Prozessleitung für zusätzliche Chemiezufuhr
- Ausziehbare Prozesskammer für erleichterten Servicezugang
Clean
- Polymer Clean
- Etch Residue Clean
- Post Ash Residue Clean
Resist Strip
- Positive Resist Strip
- Negative Resist Strip
Resist Developing
- Photoresist Developing
Weltweit vertreten
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