Siconnex
BATCHSPRAY® Solvent
Eine Investition in die Zukunft
Die Siconnex BATCHSPRAY® Solvent kann Lösemittel verschiedener Art prozessieren. Sie ist derzeit für Wafergrößen von 50 mm bis 200 mm verfügbar. Das neue Modell Siconnex BATCHSPRAY® Solvent 2.0 für bis zu 300 mm ist ab 2018 erhältlich und wird auch mit Siconnex BATCHSPRAY® Autoload kompatibel sein.
Vorteile
- Automatisierter Trocken-zu-Trocken-Prozess
- Frische und rezirkulierte Chemie
- Wiederholbarkeit durch Prozessregelung
- Stellfläche 1 m x 1,6 m
- bis zu 80 % weniger DI Wasser
- bis zu 80 % weniger Medienverbrauch
- Abgeschlossenes System
- Benutzersicher
Clean
- Polymer Clean
- Etch Residue Clean
- Post Ash Residue Clean
Resist Strip
- Positive Resist Strip
- Negative Resist Strip
Resist Developing
- Photoresist Developing
Weltweit vertreten
Siconnex customized solutions GmbH
Gewerbestrasse 2
5322 Hof bei Salzburg
Tel: +43 6229 36 646-0
Fax: +43 6229 36 646-146
E-Mail: office@siconnex.com
83 Rue roger du Marais 8
38430 Moirans
Tel: +33 631 30 55 54
E-Mail: france@siconnex.com
Siconnex Malaysia Sdn. Bhd.
No 1-04-15 e-Gate
Lebuh Tunku Kudin 2
11700 Gelugor Penang
Tel: +6 012 4256568
E-Mail: malaysia@siconnex.com
3010 LBJ Freeway Suite 1200
75234 Dallas, Texas
Tel: +1 214 710 2469
E-Mail: america@siconnex.com
Siconnex Singapur Pte. Ltd.
4 Battery Road
Bank of China Building #25-01
049908 Singapore
Tel: +65 838 88977
E-Mail: singapore@siconnex.com
