Siconnex
BATCHSPRAY® Clean Autoload
Hohe Prozessperformance durch Automatisierung
Die Vier-Kammern Anlage wird mithilfe von Siconnex BATCHSPRAY® Clean Autoload automatisch beladen und entladen. Die effektive Nutzung des vollautomatisierten Robotersystems, inklusive des patentierten Retainer Comb Handling (RCH) Transfersystems, ermöglicht es, sehr hohe Durchsätze zu erzielen, während das geschlossene Design zusätzlich die Sauberkeit der Produkte unterstützt. Erhältlich für die 8″ Substratgröße.
Vorteile
- Automatisierter Trocken-zu- Trocken-Prozess
- Kompatibel mit SMIF, FOUP und Standard Carrier
- Durchsatz bis zu 400 wph
- Stellfläche < 9 m2
- Vollautomatisierte Roboterbeladung
- Einbaumontage möglich durch komplett geschlossenes Design
- Beindruckende Prozessperformance durch das patentierte RCH System
Clean
- SicOzone Clean
- SicOzone + Ultra Diluted Clean Applications
- Organic Removal & Clean
- Etch Residue Clean
- Post Ash Residue Clean
- Prediffusion Cleans
- Field Cleans (Organic & Inorganic Cleans)
- Polymer Clean
Resist Strip
- SicOzone Strip
- Positive and Negative Resist Strip
- Implanted Photo Resist Strip
- Resist Rework
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