Siconnex
BATCHSPRAY® Autoload
Alles aus automatisierter Hand
Mithilfe von Siconnex BATCHSPRAY® Autoload und dem patentierten Retainer Comb Handling (RCH) System werden die Acid- und Solvent-Anlagen automatisch beladen und entladen. Die effektive Nutzung des vollautomatisierten Robotersystems ermöglicht es, sehr hohe Durchsätze zu erzielen, während das geschlossene Design zusätzlich die Sauberkeit der Produkte unterstützt. Erhältlich für Substratgrößen von 8“ und 12“.
Vorteile
- Beindruckende Prozessperformance durch das patentierte RCH System
- Automatisierter Trocken-zu- Trocken-Prozess
- Kompatibel mit SMIF, FOUP und Standard Carrier
- Durchsatz bis zu 200 wph
- Stellfläche < 11 m2
- Vollautomatisierte Roboterbeladung
- Einbaumontage möglich durch komplett geschlossenes Design
Etch
- Metal Etch (Al, Cu, Ti, Au, Ni,…) with End Point Detection
- III/V Etch (GaAs, AlGaAs, InGaP,…)
- Oxide Etch
- Freckle Etch
- Germanium Etch
- Silicon Backside Etch
- Siliconnitride Etch
- Aluminiumnitride Etch
- UBM Etch (Ag, Ni, Ti,..)
- Glass Etch
Clean
- SicOzone Clean
- SicOzone + Ultra Diluted Clean Applications
- Contact Cleans
- Organic Removal & Clean
- Etch Residue Clean
- Post Ash Residue Clean
- Hydrogen Fluoride Last
- Prediffusion Cleans
- Field Cleans (Organic & Inorganic Cleans)
- Polymer Clean
Resist Strip
- SicOzone Strip
- Positive and Negative Resist Strip
- Implanted Photo Resist Strip
- Sulfurice Ozone Mixture Strip
- Resist Rework
Resist Developing
- Photoresist Developing
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