Siconnex
BATCHSPRAY® Autoload
Alles aus automatisierter Hand
Mithilfe von Siconnex BATCHSPRAY® Autoload werden die Acid- und Solvent-Anlagen automatisch beladen und entladen. Die effektive Nutzung des vollautomatisierten Robotersystems ermöglicht es, sehr hohe Durchsätze zu erzielen, während das geschlossene Design zusätzlich die Sauberkeit der Produkte unterstützt.
Vorteile
- Automatisierter Trocken-zu- Trocken-Prozess
- Kompatibel mit SMIF, FOUP und Standard Carrier
- Durchsatz bis zu 400 wph
- Stellfläche < 9 m2
- Vollautomatisierte Roboterbeladung
- Einbaumontage möglich durch komplett geschlossenes Design
Etch
- Metal Etch (Al, Cu, Ti, Au, Ni,…) with End Point Detection
- III/V Etch (GaAs, AlGaAs, InGaP,…)
- Oxide Etch
- Freckle Etch
- Silicon Stress Relief
- Ge Etch
- Nitride Etch
- UBM Etch
- Glass Etch
Clean
- SicOzoneTM Clean
- SicOzoneTM + Ultra Diluted Clean Applications
- Contact Cleans
- Organic Removal & Clean
- Etch Residue Clean
- Post Ash Residue Clean
- HF Last
- Prediffusion Cleans
- Field Cleans (Organic & Inorganic Cleans)
- Polymer Clean
Resist Strip
- SicOzoneTM Strip
- Positive and Negative Resist Strip
- Implanted Photo Resist Strip
- Enhanced Strip Resist Rework
- Positive Resist Strip
- Negative Resist Strip
Resist Developing
- Photoresist Developing
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