Siconnex
BATCHSPRAY® Autoload

Alles aus automatisierter Hand

Mithilfe von Siconnex BATCHSPRAY® Autoload werden die Acid- und Solvent-Anlagen automatisch beladen und entladen. Die effektive Nutzung des vollautomatisierten Robotersystems ermöglicht es, sehr hohe Durchsätze zu erzielen, während das geschlossene Design zusätzlich die Sauberkeit der Produkte unterstützt. Erhältlich für Substratgrößen von 8“ und 12“.

Vorteile

  • Automatisierter Trocken-zu- Trocken-Prozess
  • Kompatibel mit SMIF, FOUP und Standard Carrier
  • Durchsatz bis zu 400 wph
  • Stellfläche < 9 m2
  • Vollautomatisierte Roboterbeladung
  • Einbaumontage möglich durch komplett geschlossenes Design

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Etch

  • Metal Etch (Al, Cu, Ti, Au, Ni,…) with End Point Detection
  • III/V Etch (GaAs, AlGaAs, InGaP,…)
  • Oxide Etch
  • Freckle Etch
  • Germanium Etch
  • Silicon Backside Etch
  • Siliconnitride Etch
  • Aluminiumnitride Etch
  • UBM Etch (Ag, Ni, Ti,..)
  • Glass Etch
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Clean

  • SicOzoneTM Clean
  • SicOzoneTM + Ultra Diluted Clean Applications
  • Contact Cleans
  • Organic Removal & Clean
  • Etch Residue Clean
  • Post Ash Residue Clean
  • Hydrogen Fluoride Last
  • Prediffusion Cleans
  • Field Cleans (Organic & Inorganic Cleans)
  • Polymer Clean
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Resist Strip

  • SicOzoneTM Strip
  • Positive and Negative Resist Strip
  • Implanted Photo Resist Strip
  • Sulfurice Ozone Mixture Strip
  • Resist Rework
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Resist Developing

  • Photoresist Developing
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Weltweit vertreten

Siconnex Österreich

Siconnex customized solutions GmbH
Gewerbestrasse 2
5322 Hof bei Salzburg
Tel: +43 6229 36 646-0
Fax: +43 6229 36 646-146
E-Mail: office@siconnex.com

Siconnex Frankreich

83 Rue roger du Marais
38430 Moirans, France
Tel: +33 631 30 55 54
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Siconnex Malaysia

Siconnex Malaysia Sdn. Bhd.
No 1-04-15 e-Gate
Lebuh Tunku Kudin 2

11700 Gelugor Penang, Malaysia
Tel: +6 012 4256568
E-Mail: malaysia@siconnex.com

Siconnex Amerika

Siconnex America Inc.
5445 Legacy Drive, Suite 120
75024 Plano, Texas, USA
Tel: +1 469 465 7831
E-Mail: america@siconnex.com

Siconnex Singapur

Siconnex Singapore Pte. Ltd.
4 Battery Road
Bank of China Building #25-01

049908 Singapore, Singapore
Tel: +65 838 88977
E-Mail: singapore@siconnex.com

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