Siconnex
BATCHSPRAY® Autoload

Alles aus automatisierter Hand

Mithilfe von Siconnex BATCHSPRAY® Autoload und dem patentierten Retainer Comb Handling (RCH) System werden die Acid- und Solvent-Anlagen automatisch beladen und entladen. Die effektive Nutzung des vollautomatisierten Robotersystems ermöglicht es, sehr hohe Durchsätze zu erzielen, während das geschlossene Design zusätzlich die Sauberkeit der Produkte unterstützt. Erhältlich für Substratgrößen von 8“ und 12“.

Vorteile

  • Beindruckende Prozessperformance durch das patentierte RCH System
  • Automatisierter Trocken-zu- Trocken-Prozess
  • Kompatibel mit SMIF, FOUP und Standard Carrier
  • Durchsatz bis zu 200 wph
  • Stellfläche < 11 m2
  • Vollautomatisierte Roboterbeladung
  • Einbaumontage möglich durch komplett geschlossenes Design

Section Image

Etch

  • Metal Etch (Al, Cu, Ti, Au, Ni,…) with End Point Detection
  • III/V Etch (GaAs, AlGaAs, InGaP,…)
  • Oxide Etch
  • Freckle Etch
  • Germanium Etch
  • Silicon Backside Etch
  • Siliconnitride Etch
  • Aluminiumnitride Etch
  • UBM Etch (Ag, Ni, Ti,..)
  • Glass Etch
Section Image

Clean

  • SicOzone Clean
  • SicOzone + Ultra Diluted Clean Applications
  • Contact Cleans
  • Organic Removal & Clean
  • Etch Residue Clean
  • Post Ash Residue Clean
  • Hydrogen Fluoride Last
  • Prediffusion Cleans
  • Field Cleans (Organic & Inorganic Cleans)
  • Polymer Clean
Section Image

Resist Strip

  • SicOzone Strip
  • Positive and Negative Resist Strip
  • Implanted Photo Resist Strip
  • Sulfurice Ozone Mixture Strip
  • Resist Rework
Section Image

Resist Developing

  • Photoresist Developing
Image
Image
Image
Image

Weltweit vertreten

Siconnex Österreich

siconnex customized solutions GmbH
Gewerbestrasse 2
5322 Hof bei Salzburg
Tel: +43 6229 36 646-0
Fax: +43 6229 36 646-146
E-Mail: office@siconnex.com

Siconnex Amerika Texas - US Headquarters

Siconnex America Inc.
5445 Legacy Drive, Suite 120
75024 Plano, Texas, USA
Tel: +1 469 465 7831
E-Mail: america@siconnex.com

Siconnex Amerika New York

Siconnex America Inc.
2345 Route 52, Suite 2-C
12533 Hopewell Junction, New York, USA
Tel: +1 469 465 7831
E-Mail: america@siconnex.com

Siconnex Frankreich

83 Rue roger du Marais
38430 Moirans, France
Tel: +33 631 30 55 54
E-Mail: france@siconnex.com

Siconnex Japan G.K.

3-2-17-202 Jiyugaoka
Meguro-ku Tokyo
152-0035 Tokyo
Tel: +81 343462435
E-Mail: japan@siconnex.com

Siconnex Malaysia

Siconnex Malaysia Sdn. Bhd.
No. 1 – 04 – 15 E-Gate Lebuh Tunku Kudin 2
11700 Gelugor Penang, Malaysia
Tel: +6 012 4256568
E-Mail: malaysia@siconnex.com

Siconnex Singapur

Siconnex Singapore Pte. Ltd.
60 Paya Lebar Rd. #05-07 Paya Lebar Square
409051 Singapore, Singapore
Tel: +65 31051762
E-Mail: singapore@siconnex.com

Sie benutzen einen nicht unterstützten Browser.
Sie benutzen einen nicht kompatiblen Browser.

Moderne Browser sind:

Mozilla Firefox

Mozilla Firefox

Mozilla Firefox

Google Chrome

Diese Website nutzt Cookies um Ihnen das beste webseiten Erlebnis zu liefern. Wenn Sie fortfahren, erklären sie sich mit der Nutzung von Cookies einverstanden. Mehr über Datenschutz.