Mithilfe von Siconnex BATCHSPRAY® Autoload und dem patentierten Retainer Comb Handling (RCH) System werden die Acid- und Solvent-Anlagen automatisch beladen und entladen. Die effektive Nutzung des vollautomatisierten Robotersystems ermöglicht es, sehr hohe Durchsätze zu erzielen, während das geschlossene Design zusätzlich die Sauberkeit der Produkte unterstützt. Erhältlich für Substratgrößen von 8“ und 12“.

Vorteile

• Beindruckende Prozessperformance durch das patentierte RCH System
• Automatisierter Trocken-zu- Trocken-Prozess
• Kompatibel mit SMIF, FOUP und Standard Carrier
• Durchsatz bis zu 200 wph
• Stellfläche < 11 m2
• Vollautomatisierte Roboterbeladung
• Einbaumontage möglich durch komplett geschlossenes Design