Siconnex
BATCHSPRAY® Solvent

Eine Investition in die Zukunft

Die Siconnex BATCHSPRAY® Solvent kann Lösemittel verschiedener Art prozessieren. Sie ist derzeit für Wafergrößen von 50 mm bis 200 mm verfügbar. Das neue Modell Siconnex BATCHSPRAY® Solvent 2.0 für bis zu 300 mm ist ab 2018 erhältlich und wird auch mit Siconnex BATCHSPRAY® Autoload kompatibel sein.

Vorteile

  • Automatisierter Trocken-zu-Trocken-Prozess
  • Frische und rezirkulierte Chemie
  • Wiederholbarkeit durch Prozessregelung
  • Stellfläche 1 m x 1,6 m
  • bis zu 80 % weniger DI Wasser
  • bis zu 80 % weniger Medienverbrauch
  • Abgeschlossenes System
  • Benutzersicher
Image
Section Image

Clean

  • Polymer Clean
  • Etch Residue Clean
  • Post Ash Residue Clean
Section Image

Resist Strip

  • Positive Resist Strip
  • Negative Resist Strip
Section Image

Resist Developing

  • Photoresist Developing
Image
Image
Image
Image

Weltweit vertreten

Siconnex Österreich

Siconnex customized solutions GmbH
Gewerbestrasse 2
5322 Hof bei Salzburg
Tel: +43 6229 36 646-0
Fax: +43 6229 36 646-146
E-Mail: office@siconnex.com

Siconnex Frankreich

83 Rue roger du Marais 8
38430 Moirans
Tel: +33 631 30 55 54
E-Mail: france@siconnex.com

Siconnex Malaysia

Siconnex Malaysia Sdn. Bhd.
No 1-04-15 e-Gate
Lebuh Tunku Kudin 2

11700 Gelugor Penang
Tel: +6 012 4256568
E-Mail: malaysia@siconnex.com

Siconnex Amerika

3010 LBJ Freeway Suite 1200
75234 Dallas, Texas
Tel: +1 214 710 2469
E-Mail: america@siconnex.com

Siconnex Singapur

Siconnex Singapur Pte. Ltd.
4 Battery Road
Bank of China Building #25-01

049908 Singapore
Tel: +65 838 88977
E-Mail: singapore@siconnex.com

Sie benutzen einen nicht unterstützten Browser.
Sie benutzen einen nicht kompatiblen Browser.

Moderne Browser sind:

Mozilla Firefox

Mozilla Firefox

Mozilla Firefox

Google Chrome

Diese Website nutzt Cookies um Ihnen das beste webseiten Erlebnis zu liefern. Wenn Sie fortfahren, erklären sie sich mit der Nutzung von Cookies einverstanden.