Übersicht

Anlagen

Vollautomatisiert

Unsere vollautomatisierte Produktlinie zeichnet sich durch einen hohen Durchsatz aus. Dies ermöglicht es Kunden auf der ganzen Welt, ihre Spezialprodukte wettbewerbsfähig und für die Massenproduktion bereit zu machen.

BATCHSPRAY® Clean Autoload

BATCHSPRAY® Acid Autoload

BATCHSPRAY® Solvent Autoload

BATCHSPRAY® Acid/Solvent Autoload

BATCHSPRAY® Acid/Clean Autoload

Halbautomatisiert

Unsere halbautomatischen Anlagen zeichnen sich durch hohe Leistung, effiziente Chemikalienrückführung und eine minimale Stellfläche aus, wodurch die Flächeneffizienz optimiert wird.

BATCHSPRAY® Solvent

BATCHSPRAY® Acid

Siconnex

Produktstandard

Unsere Produkte werden mit vordefinierten Optionen auf Kundenwunsch optimiert. Wir wählen die besten Rohmaterialien und Teile aus und garantieren eine schnellstmögliche Produktion. Das Hauptaugenmerk bei den Produkten liegt darauf, internationale Standards mit unseren hohen Qualitätsansprüchen in Einklang zu bringen.

Zertifikate

U.S. Standard
CE Standard
ISO9001
SECS/GEM & GEM300
SEMI S2/S8
BATCHSPRAY® Technologie

DNA unserer Anlagen

Die Kerntechnologie unserer Anlagen, BATCHSPRAY, bietet effiziente Reinigungs-, Ätzungs- und Tocknungslösungen auf nasschemischer Basis. Die Prozesskammer arbeitet von 25 bis 50 Wafer. Mit bis zu 4 Kammern, die gleichzeitig betrieben werden können, wird ein Durchsatz von 400 Wafern pro Stunde erreicht.

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FAQs

Die Anlagenverfügbarkeit beträgt mehr als 97 %.

Wir verwenden Beckhoff IPC mit SSD HD (Raid) & Windows 10.

Ja, unsere elektrischen Teile entsprechen dem Industriestandard.

Es werden keine proprietären Teile verwendet, sondern nur OEM-Teile.

Wir verwenden Brooks und Sinfonia Ladeports.

Unser Autoload-System hat die Reinraumklasse ISO 2-3.

Wir haben ein Demo-Labor bei unserem Hauptsitz in Salzburg.

Alle Arten von Ätz- und Fotolackentfernungsverfahren.

Wir haben ein Lichtmikroskop, ein Digitalmikroskop und eine Dickenmessung.

Die Montage und Endprüfung aller Geräte erfolgt an unserem Hauptsitz in Österreich.

Eine typische Inbetriebnahme dauert 3 Wochen pro Modul, gefolgt von einer gemeinsamen Prozessinbetriebnahme.

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