Siconnex
BATCHSPRAY® Autoload

Alles aus automatisierter Hand

Mithilfe von Siconnex BATCHSPRAY® Autoload werden die Acid- und Solvent-Anlagen automatisch beladen und entladen. Die effektive Nutzung des vollautomatisierten Robotersystems ermöglicht es, sehr hohe Durchsätze zu erzielen, während das geschlossene Design zusätzlich die Sauberkeit der Produkte unterstützt.

Vorteile

  • Automatisierter Trocken-zu- Trocken-Prozess
  • Kompatibel mit SMIF, FOUP und Standard Carrier
  • Durchsatz bis zu 400 wph
  • Stellfläche < 9 m2
  • Vollautomatisierte Roboterbeladung
  • Einbaumontage möglich durch komplett geschlossenes Design
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Etch

  • Metal Etch (Al, Cu, Ti, Au, Ni,…) with End Point Detection
  • III/V Etch (GaAs, AlGaAs, InGaP,…)
  • Oxide Etch
  • Freckle Etch
  • Silicon Stress Relief
  • Ge Etch
  • Nitride Etch
  • UBM Etch
  • Glass Etch
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Clean

  • SicOzoneTM Clean
  • SicOzoneTM + Ultra Diluted Clean Applications
  • Contact Cleans
  • Organic Removal & Clean
  • Etch Residue Clean
  • Post Ash Residue Clean
  • HF Last
  • Prediffusion Cleans
  • Field Cleans (Organic & Inorganic Cleans)
  • Polymer Clean
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Resist Strip

  • SicOzoneTM Strip
  • Positive and Negative Resist Strip
  • Implanted Photo Resist Strip
  • Enhanced Strip Resist Rework
  • Positive Resist Strip
  • Negative Resist Strip
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Resist Developing

  • Photoresist Developing
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Weltweit vertreten

Siconnex Österreich

Siconnex customized solutions GmbH
Gewerbestrasse 2
5322 Hof bei Salzburg
Tel: +43 6229 36 646-0
Fax: +43 6229 36 646-146
E-Mail: office@siconnex.com

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83 Rue roger du Marais 8
38430 Moirans
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No 1-04-15 e-Gate
Lebuh Tunku Kudin 2

11700 Gelugor Penang
Tel: +6 012 4256568
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Siconnex Amerika

3010 LBJ Freeway Suite 1200
75234 Dallas, Texas
Tel: +1 214 710 2469
E-Mail: america@siconnex.com

Siconnex Singapur

Siconnex Singapur Pte. Ltd.
4 Battery Road
Bank of China Building #25-01

049908 Singapore
Tel: +65 838 88977
E-Mail: singapore@siconnex.com

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